谁做过fuse trim啊，帮忙看看啊～～

langzijian2006 · 发表于 2010-10-12 20:25:44

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PAD用90×90，双层金属，window大概30×30，考虑温度系数的问题，利用高值方块电阻并联产生电路需要的小电阻值。

微调对象是电流大小，所以是并联方式，公共PAD是中间右边的那个

问题是：a·用Metal1做fuse的话，fuse电阻也就10几个方块，电阻值不过1欧姆左右，那我加2V电压是不是足够了？
         b·用Metal1做fuse，window是不是要由CP层和via层一起组成，我把这两层画成一样大小，重叠起来做window有没有问题？还是用metal2来做fuse，window就用CP层？
         C·PAD这么摆在中测时候会不会有麻烦？window大小开的是否合适？

   这些都是我自己想的，懂得帮帮忙啊，谢谢了先～～

catherine_xu · 发表于 2010-10-13 09:06:02

a。这个问题我没法回答你，看看有没有做测试的，他们可能知道。
b。fuse一般会用顶层铝的下一层，window可以直接用cp层，不用打孔。
c。如果你要扎针，那放哪都无所谓。要是需要打线，就要考虑bonding。

各一个可以用的fuse的画法，双铝工艺使用metal 1做fuse，直接用cp，大小9*9左右，下面垫井，就可以了。

hzcj · 发表于 2010-10-13 09:17:56

我们一般都是用顶层metal做fuse，个人觉得fuse的方向都保持一致，可能会好一些

langzijian2006 · 发表于 2010-10-13 14:22:08

回复 2# catherine_xu

“ fuse一般会用顶层铝的下一层，window可以直接用cp层，不用打孔。”：如果不打孔，IMD不就会堵塞fuse蒸发的吗？

“一个可以用的fuse的画法，双铝工艺使用metal 1做fuse，直接用cp，大小9*9左右，下面垫井，就可以了。”为什么要垫井呢，目的是什么呢？

期待回答，谢谢，谢谢～～

lylnk · 发表于 2010-10-13 15:22:42

回复 4# langzijian2006

使用下一层metal是因为PAD去除氧化层是过腐蚀的。如果使用顶层，那么fuse腐蚀完以后就悬空了。使用下层metal，fuse会半露不露地，烧fuse的时候，蒸汽压力会顶开薄薄的氧化层。

垫阱是为了防止fuse和衬底短路。阱是浮动电位的（电源和地也不要接），fuse即使不幸和它短路了也没关系。