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silvaco或者Sentaurus是否支持SIMOX工艺

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发表于 2010-8-20 13:00:23 | 显示全部楼层 |阅读模式

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impant Oxygen  到硅中,退火,没反应啊,不能生成SiO2,懂的请帮帮忙
 楼主| 发表于 2010-8-26 15:43:31 | 显示全部楼层
帮个忙吧
 楼主| 发表于 2010-8-30 07:55:06 | 显示全部楼层
楼上了解吗?
发表于 2010-8-30 14:55:04 | 显示全部楼层
感谢楼主分享
 楼主| 发表于 2010-8-31 08:40:18 | 显示全部楼层
发表于 2011-7-7 09:31:38 | 显示全部楼层
抓大虾。。
发表于 2011-8-4 13:39:56 | 显示全部楼层
lz能说清楚点吗
发表于 2014-1-13 12:38:47 | 显示全部楼层
同求啊!!!
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