Cox是如何计算的

体元主人 · 发表于 2009-4-20 08:24:34

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正在看拉扎维德书，习题2.1中计算时带入Cox是如何得出的？有没有一起在看书的朋友大家共勉呀。

xhseu · 发表于 2009-4-20 19:54:52

file:///C:/1.bmp
各种工艺的tox不一样

makui1 · 发表于 2009-4-20 22:40:39

二氧化硅介电系数除以栅氧化层厚度

dk.peng · 发表于 2009-4-21 17:06:10

Cox=氧化硅的介电常数/tox

sillier · 发表于 2009-4-21 17:16:05

tox可近似认为L/50
Cox=Esio2 *50/L

donaldz · 发表于 2009-4-21 21:39:37

高中学的电容公式啊。
C=e0eA/d
把oxide的介电常数和厚度代进去算就好了

snowwolf517 · 发表于 2009-4-26 12:41:55

硅的相对介电常数可按3.9算
Tox在器件的模型中一般可以查到

海之子306916 · 发表于 2009-10-7 22:00:27

电常数又叫介质常数，介电系数或电容率，它是表示绝缘能力特性的一个系数，以字母ε表示，单位为法/米(F/m)

　　定义为电位移D和电场强度E之比，ε=D/Ε。电位移D的单位是库/二次方米(C／m^2)。

　　某种电介质的介电常数ε与真空介电常数ε0之比称为该电介质的相对介电常数εr ，εr＝ε／ε0是无量纲的纯数，εr与电极化率χe的关系为εr＝1＋χe。

　　真空介电常数：ε0= 8.854187817×10^-12 F/m
SIO2的相对介电常数为3.9（半导体物理上有）
Cox = esi / tox
注意这里的tox单位是m
结果是0.000892F/m^2

以上是smic18的库计算的
razavi的可以用高中的知识 cox反比于TOX
则可以P13页求出表2.1中的cox=3.83fF/um^2

xyn777 · 发表于 2009-10-8 20:06:19

该书好像

KN=134
kp=38

答案中有的地方变化了，可能不是一个人做的

liberalice · 发表于 2009-10-9 16:09:19

well，海之子给的很经典。
个人PS一句：基本单位化为fF/um^2是不错的选择。
对吧？后来人请评判~

Cox是如何计算的

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