请问：关于MIM电容和PIP电容

mekenny · 发表于 2008-11-13 22:13:42

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请问相同面积的MIM电容和PIP电容，哪个的匹配精度会更好？

nesta · 发表于 2008-11-17 17:32:45

记得有人说过double-poly的好一些

雷v阿非 · 发表于 2008-11-18 13:53:42

PIP的好一点，但LOGIC中不能使用。MIM电容精度也很好，但浪费面积，所以在精度要求不高的电路中多采用MOS电容，但ADC等电路中就不得不用MIM电容了。知道的就这么多。

一个疑问：
不明白楼主为什么想到这个问题。PIP电容在工艺上是两层P的，很少用到吧？

mekenny · 发表于 2008-11-19 09:09:26

感谢楼上两位。我目前在做ADC，工艺库上有PIP电容也有MIM电容，ADC的电容阵列主要是考虑匹配精度问题，对单个电容的绝对精度要求不高，不知道用PIP电容（1.25fF/um2）好还是MIM（0.37fF/um2）好？

nesta · 发表于 2008-11-19 09:49:29

都没啥问题
选大的吧
面积可以小一点

fuyibin · 发表于 2008-11-19 14:25:03

原帖由 mekenny 于 2008-11-19 09:09 发表

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感谢楼上两位。我目前在做ADC，工艺库上有PIP电容也有MIM电容，ADC的电容阵列主要是考虑匹配精度问题，对单个电容的绝对精度要求不高，不知道用PIP电容（1.25fF/um2）好还是MIM（0.37fF/um2）好？

目前我看到match最好的是MOM电容，
MOM电容 98.9fF 35.6um^2 mismatch=0.042% 2.7fF/um^2
MIM电容 220fF 116.6um^2 mismatch=0.068% 1.88fF/um^2
MOM电容最高匹配精度都可以做到0.005% 大概6pF
一般10bit的ADC用个0.5pF的采样电容足够了