layout中contact上增加opc层的两种方法

sinoyin · 发表于 2019-11-28 16:30:54

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最近遇到工艺中需要在contact 脚上增加opc层，尝试了两种方法，大家供大家交流参考。

方法1：使用脚本
在CIW中load “create_opc.il” 然后在版图窗口中选中需要增加OPC的图形（可多选），然后按F9就可以了。
只需要修改create_opc.il中红圈中的三个参数 deltaA deltaB 的数值，以及需要的layer层到自己需要的参数即可。

sinoyin · 发表于 2019-11-28 16:31:54

本帖最后由 sinoyin 于 2019-11-29 10:22 编辑

方法2：利用calibre DRC验证文件进行产生OPC 在DRC规则中添加图中规则（可根据需要进行适当的修改），calibre需要先生产GDS文件，然后再streamin到自己版图。
给大家个参考手册，calibre使用的运算命令基本都在这里面了，在第四章查看就行，自己查找使用就可以了。

补充内容 (2020-4-14 10:20):
103是输出的GDS层号，自己可以根据需要修改