關於drc 在驗證 width 及 length 的space rule 的寫法有疑惑,請高手指導解惑,謝謝!

林勝祺

M11 = 找出 width 0.5um
M1.S.3 { @ Space [at least one metal line width > 0.5 um and the parallel metal run length > 3 um] >= ^0.2 um
  X = EXT M11 M1 < M1_S_3 OPPOSITE REGION MEASURE ALL
  Y = X NOT M1
  ENCLOSE RECTANGLE Y GRID M1_S_3_L+GRID


請問驗證lengeh 超過某個長度時 M1 space 不同,但為何不用
X= M1 LENGTH >3
EXT X M1 >0.2  
反而用
M1.S.3 { @ Space [at least one metal line width > 0.5 um and the parallel metal run length > 3 um] >= ^0.2 um
  X = EXT M11 M1 < M1_S_3 OPPOSITE REGION MEASURE ALL
  Y = X NOT M1
  ENCLOSE RECTANGLE Y GRID M1_S_3_L+GRID

且 Y = X NOT M1
  ENCLOSE RECTANGLE Y GRID M1_S_3_L+GRID
的寫法用意及作用是甚麼?請高手們協助解答,謝謝!

林勝祺

这边的要求是找到两条线平行投影大于3um，而且至少一边metal大于0.5um的。这平行投影之间的space要大于等于0.2um，也就是书要找到小于0.2um的 用length无法找到平行投影这种情景的。   这边第一个X = EXT ..... < 0.2um opposite region measure all 就是用来找到，M1的space小于0.2um的所有区域，  encose rectangle就是用来找Y中能容大GRID*（M1_S_3_L+GRID）矩形的部分，不知道具体数值，但是肯定是有3um的矩形。如果能找到，就说明这个地方不仅平行投影大于3um，而且space小于0.2。