项层metal6金属厚度从1um换成2um后，哪些寄生参数会发生变化

jenciek

电路中的一个模块，当metal 厚度为1um时，输出波形的下降沿正常。当换为2um后，输出波形出现振铃现象，并在回到基线电平后，继续出现振铃，在持续几微秒后，电平才稳定下来

acrofoxAgain

寄生电阻会减小，M6和M6之间的寄生电容会明显增大，M6和下层金属之间的寄生电容也略有增大，窄线增加量更明显。

jenciek

acrofoxAgain 发表于 2025-6-19 20:10
寄生电阻会减小，M6和M6之间的寄生电容会明显增大，M6和下层金属之间的寄生电容也略有增大，窄线增加量更明 ...

为什么我提取出来的时候是C比之前大，CC比之前小

acrofoxAgain

换金属厚度之后重新布线了么？

jenciek

acrofoxAgain 发表于 2025-6-19 22:34
换金属厚度之后重新布线了么？

没有 原来什么样，现在什么样

xuzaiwang

CC 变小可能和space变大有关； 金属变厚，space必然增大

石头遇见雪

R变小，本身的C 会变大才对，因为金属变厚对其他的寄生都会变大，而且你从10K变成20K，顶层金属之间的space 和最小线宽都会变大，同理你的抽参文件里面也要把金属重新定义。