如何用starrc/XRC正确地抽取SMIC mim电容的寄生

Gaozheng

刚才的帖子标题有误，重新发下

最近在用smic180BCDE做SAR ADC，核心电容阵列用的unit cap是 4um*4um*1fF/um=16fF 的mim电容；一开始用XRC的transistor level在对单位电容抽后仿时一直抽不对（结果大概是 本体 16fF + 28.7fF = 44.7fF 的上下极板CC），后来用XRC里的xcell + gate level的抽取可以大致抽出 本体16fF + 0.2fF = 16.2fF 这样的上下极板CC；

现在想用Starrc抽取一下来对比验证XRC抽取的准确性，但是抽出来的结果和一开始XRC的transistor level抽出来结果类似，约44.8fF，感觉也是重复提取了一部分的电容；想问问各位大佬，starrc有没有办法抽gate level的寄生？或者换句话说，有没有什么办法能够准确抽取mim电容的寄生。我之前的smic40项目用XRC transistor level和starrc抽取mom电容都是比较准的，这次换mim了抽的感觉有问题，表达不够清楚的地方大家见谅，谢谢大家