有没有人做过Laser fuse修调？

borderzsy

在做一个带隙基准电路，反向出来的原电路版图里用的熔丝修调，但是没有用pad，考虑到可能是用的激光切割的熔丝，在版图的艺术这本书里找到了有关激光熔丝修调的描述，这里关于薄层氧化物/氮氧化物和保护层的描述有些看不懂，如果要用激光切割，熔丝上方不应该是没有其他层次吗，否则激光会破坏这些层吧，还是说熔丝上方的窗口要做什么特殊的设计？

灯下雨

我不懂版图，瞎说两句 我猜想设计者不需要做特殊处理，应该是由FEB厂处理。金属熔丝一般在芯片较高层次的金属层，如顶层，次顶层，次次顶层，无论在哪个层次，其垂直方向的更高金属层不能有金属走线或其他设计，需要空出来。金属层间需要有绝缘隔离层，猜想这个设计的空白区feb厂会做上面提的薄层氧化物/氮氧化物和保护层，不知道猜的对不对，希望懂行的大佬们讲一讲

chuchuang

laser fuse  一般都是poly 或者metal ，metal的话 可以做到最顶层 ，上面没有东西了，fuse 这里需要画pad开窗（去掉上面保护层），激光就可以直接操作了（版图上需要画对准标记L mark），直接看fab的design rule 里面写的很清楚   

kwankwaner

开窗，金属选N-1层，周围不要放重要东西