在线咨询
eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网
切换到宽版

EETOP 创芯网论坛 (原名:电子顶级开发网)

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

找回密码

  登录   注册  

快捷导航
搜帖子
查看: 173|回复: 0

[资料] 共聚焦显微镜检测微纳结构元件三维形貌

[复制链接]
发表于 前天 18:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

马上注册,结交更多好友,享用更多功能,让你轻松玩转社区。

您需要 登录 才可以下载或查看,没有账号?注册

x
在光学精密加工领域,微纳结构元件的三维形貌检测是保障器件性能的重要环节。以微透镜阵列、衍射光学元件为代表的精密光学元件,其特征尺寸已突破亚微米量级,对表面轮廓精度与结构面形误差的检测要求达到纳米级分辨率。若加工过程中产生的边缘塌陷、周期畸变或面形偏差未能精准识别,当此类缺陷元件被集成至光通信模块或成像系统时,将导致光束传播相位失配、成像质量劣化等问题,甚至造成整机系统的功能性失效。
1.jpg
中图仪器共聚焦显微镜是一款多功能的光学三维测量仪器,可实现微纳尺度的表面三维形貌检测,助力各行业研发、制造、质量检测的研究人员与工程师完成产品检测需求,严控工艺质量关。
光学光栅是基于精密微纳加工技术制备的周期性衍射元件,通过微纳尺寸沟槽结构,广泛应用于光谱分析、激光调谐与光通信系统,其结构精度直接决定器件的衍射效率和分辨率。

共聚焦显微镜可以对光栅式图样进行3D检测,自动测量分析光栅深度和周期性间隔,监控光栅关键尺寸良率。
2.jpg
不同周期的环形光栅图样
3.jpg
微透镜阵列是由通光孔径及浮雕深度为微米级的透镜组成的阵列,其最小功能单元可以是球面镜、非球面镜、柱镜、棱镜等。因为单元尺寸小、集成度高,使得它能构成许多新型的光学系统,完成传统光学元件无法完成的功能。微透镜阵列通过其高集成度与灵活的光场调控能力,正成为光学系统微型化与智能化的核心元件,在光纤通信、激光光学等领域的应用潜力巨大。
4.jpg
共聚焦显微镜可以对光学微透镜阵列三维形貌进行重建,检测表面是否存在微缺陷,自动分析透镜矢高半径等参数,验证其是否符合预期标准。
5.jpg
6.jpg

您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

关闭

站长推荐 上一条 /1 下一条

小黑屋| 手机版| 关于我们| 联系我们| 隐私声明| EETOP 创芯网
( 京ICP备:10050787号 京公网安备:11010502037710 )

GMT+8, 2025-6-6 17:06 , Processed in 0.013717 second(s), 8 queries , Gzip On, MemCached On.

eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网
快速回复 返回顶部 返回列表