共聚焦显微镜检测微纳结构元件三维形貌

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在光学精密加工领域，微纳结构元件的三维形貌检测是保障器件性能的重要环节。以微透镜阵列、衍射光学元件为代表的精密光学元件，其特征尺寸已突破亚微米量级，对表面轮廓精度与结构面形误差的检测要求达到纳米级分辨率。若加工过程中产生的边缘塌陷、周期畸变或面形偏差未能精准识别，当此类缺陷元件被集成至光通信模块或成像系统时，将导致光束传播相位失配、成像质量劣化等问题，甚至造成整机系统的功能性失效。

中图仪器共聚焦显微镜是一款多功能的光学三维测量仪器，可实现微纳尺度的表面三维形貌检测，助力各行业研发、制造、质量检测的研究人员与工程师完成产品检测需求，严控工艺质量关。
光学光栅是基于精密微纳加工技术制备的周期性衍射元件，通过微纳尺寸沟槽结构，广泛应用于光谱分析、激光调谐与光通信系统，其结构精度直接决定器件的衍射效率和分辨率。

共聚焦显微镜可以对光栅式图样进行3D检测，自动测量分析光栅深度和周期性间隔，监控光栅关键尺寸良率。

不同周期的环形光栅图样

微透镜阵列是由通光孔径及浮雕深度为微米级的透镜组成的阵列，其最小功能单元可以是球面镜、非球面镜、柱镜、棱镜等。因为单元尺寸小、集成度高，使得它能构成许多新型的光学系统，完成传统光学元件无法完成的功能。微透镜阵列通过其高集成度与灵活的光场调控能力，正成为光学系统微型化与智能化的核心元件，在光纤通信、激光光学等领域的应用潜力巨大。

共聚焦显微镜可以对光学微透镜阵列三维形貌进行重建，检测表面是否存在微缺陷，自动分析透镜矢高半径等参数，验证其是否符合预期标准。