求助大佬们，在版图中，金属dummy/DRC density该怎么填？

Andy_ZhangS

小弟在做一个12位的SAR ADC，用的TSMC 65nm 1P7M, 4X2Z工艺，CDAC用的mom电容，但是6和7层在CDAC部分的密度不够，思考了几种方案：

方案一：直接在CDAC上覆盖几条6和7层金属，并接到VDD电位。
方案二：直接在CDAC上覆盖几条6和7层金属，但不接电位，悬空。
方案三：在CDAC的各单位电容缝隙之间填6和7层金属，并接到VDD电位。
方案四：在CDAC的各单位电容缝隙之间填6和7层金属，但不接电位，悬空。

因为SAR CDAC对匹配性要求很高，想避免寄生改变权重太多导致校准不回来，所说想请教下各位大佬，该怎么填？或者还有啥别的好办法嘛？抱拳感恩！！！

이지은

那就缝隙接地呗，还能 当sheild用