[求助] MOM电容TSMC65nm6X1Z1U的crtmom_rf，PDK示数和流片测试误差大概在多少？

发表于昨天 16:18 | 显示全部楼层 |阅读模式

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如题，想用来做谐振腔，电容误差直接影响了谐振频率。我们没用过这个工艺流片，pdk里的文档没有直接介绍具体元件的加工误差，只看得到几条曲线。想请教各位专家关于该器件加工误差的经验值，以及一般会怎么减小误差，RF版图里会去按照模拟那种匹配的画法来做吗？

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