smic18ee版图问题询问

陈福刚

能请问一下为什么我m4到m5的通孔不能用啊。就是连接mim电容的时候需要用到m6的金属层，M6到m1需要通孔，但是我调用m1到m6的通孔，就显示下面的错误，Minimum/maximum size of a V4 is 0.26um。大佬们能帮帮孩子吗？搞了好久了

陈福刚

图片是这样的，为什么啊

noves

没太明白，MIM电容不是用在顶层和次顶层吗？如果顶层是M6，那就是M6和M5之间，M6到M1那得一层一层金属和通孔逐步连下去啊

白香

如果drc报的size在版图中没问题那就是其他原因引起的。如果版图中的size与drc不一致，那最好确认下pdk是否需要调整。

陈福刚

noves 发表于 2024-11-4 14:43
没太明白，MIM电容不是用在顶层和次顶层吗？如果顶层是M6，那就是M6和M5之间，M6到M1那得一层一层金属和通 ...

我用的这个，还有MiM电容的两个电极不都是用m6层连出去的吗

陈福刚

zt2455

你是自动打孔的孔不符合DRC规则吗？

有些懒的二虎

那你就量一下V4的size 是不是0.26嘛，不是就调整呗

miamiamia

陈福刚 发表于 2024-11-4 14:33
图片是这样的，为什么啊

看你的V4和V5都基本一样大了，你用的TM是M6，那你的VT就该是V5，你V5的size就该是0.36；V4的size就该是0.26；你看看V4孔大小对吗？V4的size可以编辑，你调用的时候改一下尺寸就好了！

陈福刚

miamiamia 发表于 2024-11-5 10:36
看你的V4和V5都基本一样大了，你用的TM是M6，那你的VT就该是V5，你V5的size就该是0.36；V4的size就该是0.2 ...

我已经把PDK给改了，V4的最小尺寸就是0.36，当时我改到0.26的时候，他自动就跳到0.36去了，我把PDK改完之后DRC就通过了