新唐LDMOS

想象 · 发表于 2024-10-9 11:20:24

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本帖最后由想象于 2024-10-9 11:21 编辑

求助各位大佬，如下图1&2&3，这种结构的N型高压LDMOS，源端和b端是必须锁死接一起的吗？（pcell上面显示通过一大块cont接到同一根金属1）
1.如果可以不接一起，怎么理解一整块矩形的cont接到同一根金属？这个矩形的cont孔制造的时候就是这个形状还是通过它进行运算呢；
2.如果必须接一起，这样的mos结构有什么优点和作用；
3.此工艺为新唐，它们对于cont和via的处理也和常见工艺有所不同（如下图4&5），针对这两条drc error如果没有脚本的话手动添加起来也是很大的工作量…

图1

图2

图3

图4

图5

Quinn714 · 发表于 2024-10-9 12:46:20

如果可以直接和fab邮件沟通，这个ct的运算你自己看下他们关于mask的文档

想象 · 发表于 2024-10-9 13:12:13

wx148520 发表于 2024-10-9 12:46
如果可以直接和fab邮件沟通，这个ct的运算你自己看下他们关于mask的文档

这个运算方式看不太懂

Quinn714 · 发表于 2024-10-9 13:30:02

想象发表于 2024-10-9 13:12
这个运算方式看不太懂

这个可以看成calibre语法的逻辑运算

想象 · 发表于 2024-10-9 13:48:34

wx148520 发表于 2024-10-9 13:30
这个可以看成calibre语法的逻辑运算

好的，感谢

neonato · 发表于 2024-10-9 14:11:57

目测源漏的contact就是一长条，为了跨越多个body/source区的时候能对准，顺便减少边缘效应和增大电流密度。估计平台不是很给力，所以这么搞。
另外contact的每个边角都有opc修正的小方块，也算他家特色。这种拿到gds可以调整的事情，10年前就这样，现在还没改，有点说不过去了。

想象 · 发表于 2024-10-9 14:38:19

neonato 发表于 2024-10-9 14:11
目测源漏的contact就是一长条，为了跨越多个body/source区的时候能对准，顺便减少边缘效应和增大电流密度。 ...

感谢大佬的解答，
这么说s端和b端确实是必须接死的吧。另外孔的四个角添加的层次是TO给他们添加还是我们自己添加呢，这个应该是有脚本的吧

neonato · 发表于 2024-10-9 15:15:27

想象发表于 2024-10-9 14:38
感谢大佬的解答，
这么说s端和b端确实是必须接死的吧。另外孔的四个角添加的层次是TO给他们添加还是我们 ...

大部分工艺的ldmos默认是接死的，实在有不接死的需求，可以跟fab讨论。不过这种源漏的注入结构，估计没法分开。
OPC应该有脚本，问fab要一下，十年没用过他家工艺了，不大记得

想象 · 发表于 2024-10-9 15:41:33

neonato 发表于 2024-10-9 15:15
大部分工艺的ldmos默认是接死的，实在有不接死的需求，可以跟fab讨论。不过这种源漏的注入结构，估计没法 ...

了解，感谢

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