smic40llrf工艺中通孔via层的厚度在哪里找？

Gaoj · 发表于 2024-9-22 08:29:18

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itf文件中只定义了via的area和RPV，请问RPV是什么参数，via厚度该去哪里找？

ethanchung · 发表于 2024-9-23 13:05:33

find "cross section"

Gaoj · 发表于 2024-9-23 17:14:57

ethanchung 发表于 2024-9-23 13:05
find "cross section"

这个在哪里找呀

存在感 · 发表于 2024-9-23 19:51:46

工具 cross section 只是看结构，via 厚度在design rule 中有，如果工艺信息完整的话。PEX QRC starRC等相应的提取工具后C 的文件里面有，如果不加密的话。另外数字那边的ict itf lef.tf qtc.tf 等工艺文件里面也会有。

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