RFSOI 中的体接触body contact

yurunji · 发表于 2024-7-10 15:57:51

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

本帖最后由 yurunji 于 2024-7-10 18:17 编辑

body contact是为了解决浮体效应，也就是部分耗尽后留下的一部分硅膜，这一步是怎么具体操作的，以及为什么是pmos通过N注入来做体接触，如图所示，看起来是体区和source端直接接在一起了，这是什么做法（蓝色虚线是n注入，红色p注入），烦请赐教

yurunji · 发表于 2024-7-10 16:00:16

本帖最后由 yurunji 于 2024-7-10 16:02 编辑

感觉这个做法类似我之前做过的butted做法，但原理肯定不是一样的，但都是把有源区接出去同时注入不同离子，区别是这个同时也会有poly的处理，butted是单纯的AA处理

[求助] RFSOI 中的体接触body contact

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

站长推荐 /2