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[讨论] 请教请教,小工艺部分, x y方向drc rule不一样.....

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发表于 2024-2-27 20:39:19 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教请教,小工艺,layout时poly方向要竖着,调用时不能翻转, x y方向drc rule不一样,从工艺上看是什么原因?
发表于 2024-2-27 21:35:20 | 显示全部楼层
不同晶向的特性不一样
发表于 2024-2-28 13:12:21 | 显示全部楼层
对于fin的考虑
发表于 2024-2-29 10:36:33 | 显示全部楼层
finFET工艺吧,finFET工艺wafer上的fin是沿X方向做好的,poly只能与fin垂直放置,你看原理图上的mos管参数都已经不是多少微米而是多少个fin的方式来给了。这种情况下X,Y的DRC rule肯定是不一样的
发表于 2024-2-29 10:39:53 | 显示全部楼层


zjwu508 发表于 2024-2-27 21:35
不同晶向的特性不一样


晶向对器件特性会有影响,但是DRC rule更多考虑的是工艺加工的可行性和可靠性还有可控性,所以一般不会因为晶向不同而将XY的DRC rule设置不同。
发表于 2024-3-10 21:36:06 | 显示全部楼层
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