ESD电阻检查：Inst到Clamp的电阻检查疑问？

zhangyang370281 · 发表于 2023-11-4 20:52:14

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TSMC N12工艺的CDM ESD rule中，要求Inst到Power Clamp的电阻不超过0.5欧姆，实际芯片实现时，标准单元的M1的follow pin到附件Clamp的电阻非常大，远远超过0.5欧姆。原因follow pin往往采用M1或者M2金属层,这些金属层具有较大的方块电阻，使得该rule的检查很难实现。请问大家是怎么检查Inst到附近power clamp ESD 电阻的？或者应该怎么检查Inst到Clamp的电阻路径才是正确?

846385824 · 发表于 2024-3-4 17:27:45

小于0.5Ω合理，防止从有过大的压降，损害内部管子。往往是自动识别离得最近的power clamp，有的时候识别的不太准确，可以自己检查一遍

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