请教大佬，与衬底直接接触的浓掺杂P+存在漏电是为什么？

haozz · 发表于 2023-10-31 15:33:41

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如题，我这个浓掺杂P+的注入剂量是E15量级的，注入离子是硼。

实际流片出来，发现对于二极管N->P方向，只要是P+直接在衬底上，就有漏电（曲线如图，很小的电压下电流直接就上来了）；
但是如果这个P+在PW或NW中，就不会有漏电。

这两个掺杂区域的间距有>100um，依旧存在漏电，我认为也不是击穿漏电。。。

很奇怪，因为我在两家Fab流片都有这个现象。是什么原因呢？请大佬指教

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haozz · 发表于 2023-10-31 15:34:46

用的是BCD的工艺

[求助] 请教大佬，与衬底直接接触的浓掺杂P+存在漏电是为什么？

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