hfss 电感的仿真

hangzijie

我要仿真一个tsv电感。tsv的圆柱和上层金属都设置的是铜，上下两层长方体是二氧化硅，中间大长方体是si衬底。然后端口激励是在输入输出画了长方形，设置成lumped port，底面画了一个长方形设置成finite conductive。但是最后仿真出来的结果根本不是一个正常的电感，有朋友帮忙看看是哪里出了问题吗？很急