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[求助] hfss中tsv电感的仿真设置

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发表于 2023-7-12 16:30:12 | 显示全部楼层 |阅读模式

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我要仿真一个tsv电感。tsv的圆柱和上层金属都设置的是铜,上下两层长方体是二氧化硅,中间大长方体是si衬底。然后端口激励是在输入输出画了长方形,设置成lumped port,底面画了一个长方形设置成finite conductive。但是最后仿真出来的结果根本不是一个正常的电感,有朋友帮忙看看是哪里出了问题吗?很急!
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