MIM电容下可以走线吗？

白鲸挺可爱 · 发表于 2023-2-22 13:09:04

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比如M5-M6的MIM电容，电容正下方的几层金属可以走线吗？会不会有什么影响？
同样地可不可以在下边放管子？

winsm · 发表于 2023-2-22 13:09:50

可以啊！看干扰要求。

maomao198477 · 发表于 2023-2-22 13:22:35

满足DRC 都是可以的

sprlove · 发表于 2023-2-22 13:51:12

工艺文件有介绍各层金属间电容值，自行评估电容大小及影响，再确定是否可以走线；

u12u34 · 发表于 2023-2-22 14:12:57

那就看MIM电容和走线能不能接受串扰了

chenyangXJTU · 发表于 2023-2-22 22:33:35

可以在走线上和电容下级板之间再加电源或者地隔离一下效果更好？

lee_liny · 发表于 2023-2-23 17:01:08

一般来说，不在电容下走线和放置mos管；一定要放的情况下，具体看电容在此处的作用来评估是否可以放置

XXHHJJ · 发表于 2023-2-23 17:11:05

有些采样用的MIM电容下面不能放器件走线，一般是可以放置的也会在M5电容下面铺一层M4接地屏蔽

ljh065216 · 发表于 2023-3-6 17:33:42

我接触的工艺板极电容都非常大，正常都盖在器件上

梅希 · 发表于 2023-3-7 09:22:37

正常情况下，面积也够的模拟模块是尽量不要的，但是如果做pixel类的模块，就不可避免的要在MIM下既放管子又走线的，但这种情况是要极尽小心的，确保管子和走线不受电容影响，普通管子还好，如果要放敏感管子和走线要做好各种保护，例如管子与电容之间的屏蔽，管子自身地与电容之间屏蔽，敏感走线与电容，敏感走线之间，敏感线与普通线之间，敏感走线与管子等等~~~

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