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hotpot · 发表于 2023-2-13 22:25:08

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请问testkey具体的含义是啥呀？和fab厂相关性大吧？

powerboy711 · 发表于 2023-2-14 09:12:49

监测工艺的，对准，刻蚀偏差等等情况

hotpot · 发表于 2023-2-16 16:40:34

powerboy711 发表于 2023-2-14 09:12
监测工艺的，对准，刻蚀偏差等等情况

还有2个问题请教
1，那做的testkey的项目,在晶圆上是和mpw或nto做在一张晶圆上，还是自己单独出一张晶圆

2，对于fabless公司做testkey项目的意义是啥？

powerboy711 · 发表于 2023-2-17 09:21:14

testkey 每个晶圆都做，做在划片线上，另外还有pcm都是做在划片线上，都是作为监测工艺偏差的方法

note30933 · 发表于 2023-2-17 09:42:56

顶一下

hotpot · 发表于 2023-2-17 16:30:45

powerboy711 发表于 2023-2-17 09:21
testkey 每个晶圆都做，做在划片线上，另外还有pcm都是做在划片线上，都是作为监测工艺偏差的方法 ...

thx

李幕白 · 发表于 2023-2-17 17:08:43

根据我所知的是，将一个你要尝试的新的东西做成一个简单的testkey小单元，分成很多不同的尺寸，做成一个大的testkey，再跟你的设计一起放在芯片上，拿去tapeout。后续切割后将大的testkey切出来测试，验证你的新东西

hotpot · 发表于 2023-2-17 18:20:52

李幕白发表于 2023-2-17 17:08
根据我所知的是，将一个你要尝试的新的东西做成一个简单的testkey小单元，分成很多不同的尺寸，做成一个大 ...

第一句话没太懂，但谢谢分享

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