加了poly和Active层之后，mom电容提参和标称值有差异的原因？

onlyzjj

把mom电容两端定义为A和B端，电路应用希望A端看到的电容尽量保持不变，B端无所谓。于是我在A端下面垫了poly，并且把这个poly接到了B端，在A端上面我也加了一层金属，也接到了B端。
这样虽然A端看到的cap变大了一些，但是值不会受到外界太大的影响。
（我也在B端下面垫了active，然后接到了电源）
最终目的是稳住A端的cap值。
在具体操作的时候发现一个问题，描述如下
一. 没有增加poly和active层之前，我分别对有 mom 标识层的cap版图和去掉 mom 标识层的cap版图做LPE,如图一，两者前后AB之间的电容总值基本一致
      图一
二. 在增加poly和active层之后，我分别对有 mom 标识层的cap版图和去掉 mom 标识层的cap版图做LPE，如图2，两者前后AB之间的电容总值会有一定差别

       图二

我知道最好相信LPE（去掉标识层）的结果，只是想知道造成图二cap差别的原因是什么