TSMC N12 FINFET 工艺和MOSFET layout上有哪些不同，有哪些要注意的地方。求解，谢谢！

mymz · 发表于 2022-10-12 22:19:04

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进击的女帝 · 发表于 2022-10-13 13:43:40

同问

litong717 · 发表于 2022-10-19 16:45:55

个人认为最大的不同就在于第一OD需要跟fin对齐，第二M1到PO跟OD之间多了一层M0。

jessefrank · 发表于 2022-10-20 13:22:10

litong717 发表于 2022-10-19 16:45
个人认为最大的不同就在于第一OD需要跟fin对齐，第二M1到PO跟OD之间多了一层M0。 ...

M0什么作用和结构，有图吗

进击的女帝 · 发表于 2022-10-20 14:02:08

jessefrank 发表于 2022-10-20 13:22
M0什么作用和结构，有图吗

同问

lee_liny · 发表于 2022-10-21 15:50:11

finfet一致

litong717 · 发表于 2022-11-1 11:12:12

jessefrank 发表于 2022-10-20 13:22
M0什么作用和结构，有图吗

由于gate和od都向上凸起了（凸这个字很形象了

），侧边看上去起起伏伏，直接打孔接触不良好，故直接在gate和od上覆盖一层metal 0，metal 0直接与二者欧姆接触，下表面与二者叠加，上表面是平坦的（把凸变成了口

），之后metal 0方可以通过via 0与metal 1稳定连接。

个人理解仅供参考。

litong717 · 发表于 2022-11-1 11:13:00

进击的女帝发表于 2022-10-20 14:02
同问

已回答。

pandaroy · 发表于 2022-11-1 11:21:21

补充一点，OD或者说fin要放在fin grid上面，不能像28那样想放在哪就放在哪吧

liaoduan · 发表于 2022-11-2 10:53:31

design rule里面有好几个FB，就是用来对齐Fin，保证Fin on grid的，注意点

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