salicide电阻

coolwayhu · 发表于 2022-10-5 17:27:29

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请问下salicide和电阻和不salicide的电阻的区别是什么呢？目前只发现了with salicide的电阻阻值可以很小，而without salicide的最小电阻值会大很多，除此之外这两者有什么区别吗？

tianxiong_14 · 发表于 2022-10-5 19:45:15

salicide是在poly上再淀积一层金属，跟gate一样，因而电阻较低，non-salicide是单纯的多晶硅，方块电阻要大不少。而高阻是在多晶硅上再做一次掺杂，导致阻值进一步提高

wudanyu · 发表于 2022-10-5 20:00:15

salicide电阻随工艺偏差和温度变化都很大，这个很少用

castrader · 发表于 2022-10-5 20:49:56

wudanyu 发表于 2022-10-5 20:00
salicide电阻随工艺偏差和温度变化都很大，这个很少用

这是哪里说得？
salicide的poly电阻无论是工艺偏差还是温度变化都比sab还好一些。
你说的是扩散层的diff电阻不好吧

piao · 发表于 2022-10-7 17:28:16

you can search the answer on this website

simon85 · 发表于 2025-1-7 11:15:13

Salicide 是做了金属硅化物的，这个硅可以是单晶硅或者多晶硅，电阻都会比较大，温度系数也有差。电学上就是看电阻特性，工艺上salicide 是标准工艺模块。

张江板砖工头 · 发表于 2025-1-7 15:49:25

mark，，，

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