RC oscillator频率漂移

shaiyayr · 发表于 2022-8-9 22:51:04

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求助大佬们，遇到个棘手的问题，在芯片中做的RC 振荡器时钟，小概率会出现频率随时间的漂移，出厂测试的时候会trim到我们想要的频率，过一段时间复测，部分芯片发现频率下降，下降幅度2%到6%不等，可能会是什么原因呢？
电路结构是那种基于poly电阻产生电流对MOM电容充放电的relaxation oscillator，55nm工艺

shaiyayr · 发表于 2022-8-9 23:06:14

顶一下

loopgain · 发表于 2022-8-10 09:09:54

器件老化了

sunyiran · 发表于 2022-8-10 09:23:00

关注一下，等待大佬们的看法

wkp1992101 · 发表于 2022-8-10 10:47:59

哈哈，我6年前遇到过这个问题，过的时间越久，下降的越多。比如放三个月后测，下降的可能达到10%以上了。很多人还不信，我至今也没找到原因。

nanke · 发表于 2022-8-10 11:43:39

(1)是否有aging model可仿真试一下；(2)device的使用是否满足rule，如mom finger space是否足够; (3)是否排除两次测试温度电压不同的原因；(5)osc设计工程上应该是需要考虑频率随时间变化的吧，才百分之几，应用不在意则可忽略了，如果应用在意是需要每隔一段时间校准一次的

jamesccp · 发表于 2022-8-10 17:01:38

电阻的宽度过小，电流密度太大导致阻值偏移？

knowworlds · 发表于 2022-8-10 17:06:24

1.考虑MOS超压问题。器件超压导致比较器delay变化。但是比较器本身占比很小，你这个variation如果有6%。可能还是主要考虑第二种情况。
2.考虑Mom电容是否有漏电。碰到过MOM用久了由于本身工艺不行导致的漏电。可以试着查一查漏电路径。

shaiyayr · 发表于 2022-8-11 22:24:19

而且还有一个现象，这种频率漂移貌似可以通过加热恢复，比如用260℃热风枪吹个几分钟，下降的频率就部分或全部恢复了，目前也是怀疑MOM电容的问题，但不知道怎么验证

leiixnyu · 发表于 2022-8-12 15:58:49

shaiyayr 发表于 2022-8-11 22:24
而且还有一个现象，这种频率漂移貌似可以通过加热恢复，比如用260℃热风枪吹个几分钟，下降的频率就部分或 ...

是不是热载流子注入到gate了，加热会使注入的载流子退出栅

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