22nm工艺，是不是MOM电容漏电比较大？

istart_2002 · 发表于 2022-5-23 11:03:48

本帖最后由 istart_2002 于 2022-5-25 17:56 编辑

22nm工艺，是不是MOM电容漏电比较大？

nanke · 发表于 2022-5-23 11:03:49

istart_2002 发表于 2022-5-24 09:59
22nm工艺，确实MOM电容漏电比较大么？

显然不会，MOM就是金属和金属间电容，中间是绝缘材料，而且间隔至少几十nm。按你这么讲，漏电大的话线都没法走得很密了，工艺算是废了。当然如果你做超低速超高精度的，就要考虑漏电了。

漏电大的是mos gate。因mos gate栅氧厚度是A级别的，厚度小很多。而且又想绝缘又想介电常数小，满足的材料少。

loopgain · 发表于 2022-5-23 15:16:29

做漏电流补偿？

istart_2002 · 发表于 2022-5-24 09:59:46

loopgain 发表于 2022-5-23 15:16
做漏电流补偿？

22nm工艺，确实MOM电容漏电比较大么？

loopgain · 发表于 2022-6-19 14:14:13

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