在drc rule文件中怎么增加5nm格点的检查

anlei111 · 发表于 2022-3-24 16:47:26

在drc rule文件中怎么增加5nm格点的检查？rule里面设置的RESOLUTION 1，drc中没有关于格点的检查，想要增加layer在不在5nm格点的检查，语句该怎么写？

幽影 · 发表于 2022-3-24 16:47:27

这两个加进去试试？我搜了下我手上的drc rule，跟offgrid相关的就这两个，也没有其他信息

yuxidaliumang · 发表于 2022-3-24 17:14:00

直接把这玩意设置成５呢？

anlei111 · 发表于 2022-3-25 08:58:11

yuxidaliumang 发表于 2022-3-24 17:14
直接把这玩意设置成５呢？

直接设置成5没作用，内部rule里面没有关于grid的计算

yuxidaliumang · 发表于 2022-3-25 10:32:48

哪一家的工艺啊?

firewolf223 · 发表于 2022-3-25 11:16:25

precision1000
resolution 5
flag offgrid yes

或者
precious 200
resolution 1
flag offgrid yes

周末不上班 · 发表于 2022-3-25 11:25:59

rule里面没有难道不是说明不需要检查offgrid吗

carter_jim · 发表于 2022-3-25 14:49:52

GRID_CHECK_AA {
@ AA GRID CHECK 0.005um
OFFGRID AA 0.005
}

anlei111 · 发表于 2022-3-25 17:53:44

幽影发表于 2022-3-25 11:05
这两个加进去试试？我搜了下我手上的drc rule，跟offgrid相关的就这两个，也没有其他信息 ...

感谢！加进去之后可以把所有不在格点上的层都check出来了。

西瓜土豆 · 发表于 2023-8-25 17:05:04

非常感谢

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