飞行时间-二次离子质谱仪（TOF-SIMS）介绍资料

咸蛋999 · 发表于 2021-11-16 11:00:03

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飞行时间-二次离子质谱仪（TOF-SIMS），是一种非常灵敏的表面分析技术。它利用一次离子激发样品表面微量的二次离子，根据二次离子飞行到探测器的时间不同来测定离子质量。由于TOF-SIMS中离子飞行时间只依赖于它们的质量，故其一次脉冲就可得到一个全谱，离子利用率很高，能实现对样品几乎无损的静态分析。

TOF-SIMS具有检测极限极低、分辨率极高等优点，能实现在2-3个原子层对样品进行检测并给出二维和三维图像信息。目前TOF-SIMS主要用于有机样品的表面分析，如生物药品的有机物分析、半导体材料的污染分析、储能材料分析及有机分子碎片鉴定等。随着技术的改善，分析区域越来越小，TOF-SIMS在材料成分、掺杂和杂质污染等方面的分析中逐渐拥有不可替代的地位。

品博锦取_2021 · 发表于 2021-11-17 15:57:45

写的很是专业和深度，内容全面丰富，值得参研一下

[原创] 飞行时间-二次离子质谱仪（TOF-SIMS）介绍资料

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