问一个mask放大倍数的问题

pph_cq · 发表于 2021-11-5 10:33:15

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jobview的时候发现有的层次放大4倍，有的层次放大5倍，是什么原因？

DemoYe · 发表于 2021-11-5 13:23:30

design rule里面搜shrink看看有没有说明

jianghong520 · 发表于 2021-11-5 13:40:58

光刻机类型不一样，ASML光刻机放大4倍，Nikon光刻机放大5倍，masktooling里面有。

x020722 · 发表于 2021-11-15 19:32:39

3#正解，跟光刻机相关。

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