关于dummy TCD,FEOL dummy TCD，BEOL dummy TCD的问题

menghahameng · 发表于 2021-10-26 14:22:32

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想请问一下，既然TCD cell就是工艺校准用的了，那dummy TCD有什么作用呢，然后还看见了有FEOL dummy TCD和BEOL dummy TCD 的名词，查找资料感觉说的有点模糊，理解不清晰，想了解一下FEOL dummy TCD和BEOL dummy TCD是什么，有什么作用，还请大佬不吝赐教。

jenyusir · 发表于 2021-10-26 15:26:42

同问

490590125 · 发表于 2021-10-26 16:48:24

同问+1

menghahameng · 发表于 2021-10-28 15:27:35

了解到的不知道对不对，一般用的TCD cell就包括了FEOL和BEOL，FEOL相当于提供了po，od的方向基准参考，BEOL相当于提供了metal的基准参考，一般layout里面这两个成对出现。

462126897 · 发表于 2021-10-28 22:03:40

楼上说的不差
个人理解——
tcd cell和dummy tcd是同一个东西。在大尺度下，加dummy的时候自动加得上tcd layer，那有时会这么做，就是把加好的那些tcd 包含前后段，抠出来做成一个cell就叫tcd cell了，然后手动放到某些想让他出现的地方去，不影响自己的布局布线等。
作用嘛就是你说的，也就是比对图形是否对得上罢了，细节肯定是机密了。

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