一个工艺的电容mismatch只由尺寸决定么？

typhoon222 · 发表于 2021-7-20 19:24:36

本帖最后由 typhoon222 于 2021-7-21 10:42 编辑

比如这两个电容
图片.png

一个是Width 70n*288 Length1.24u 金属间距70n
一个是Width 70n*550 Length1.24u 金属间距210n
都是100fF的电容，第二个面积大，是不是第二个电容mismatch应该小一点？

JetYeah · 发表于 2021-7-20 20:29:12

可以找到这个工艺的Monte Carlo仿真模型文件进去看下是怎么写的。好像除了面积还和其他参数也有关。

quantus · 发表于 2021-7-20 20:30:33

本帖最后由 quantus 于 2021-7-20 21:06 编辑

你这个是mom电容, 不是mim电容. mom电容根据结构不同, 计算容值时除了像mim电容一样考虑垂直方向的电容以外还要考虑水平方向的. 也就是说除了面积以外, 走线的长度也决定电容的大小. 你这种情况下失配的模型比较复杂, 简而言之, 总面积/长度/层数更大的失配更小.

夜冷了 · 发表于 2021-7-20 23:55:39

首先更正一个概念，讲mismatch 应该至少是两个器件；
一个器件的话，波动远小于corner，没有必要考虑mismatch
MOM 器件我记得mismatch 公式是mis = （C1-C2）/（C1+C2），可能分母上还有个乘2的系数，记不清了。
结论是，如果AB 这样匹配，两个应该差不多，因为存在梯度。区别就是，第二个耐压高一些，因为间距大；
提高匹配精度的方式是：ABABABAB……的匹配方式，具体你可以查阅PDK 里面的文档。

typhoon222 · 发表于 2021-7-21 09:52:29

本帖最后由 typhoon222 于 2021-7-21 10:44 编辑

quantus 发表于 2021-7-20 20:30
你这个是mom电容, 不是mim电容. mom电容根据结构不同, 计算容值时除了像mim电容一样考虑垂直方向的电容以外 ...

比如都是3层的mom电容这两个电容为什么mismatch差不多大呢？

quantus · 发表于 2021-7-21 15:24:58

typhoon222 发表于 2021-7-21 09:52
比如都是3层的mom电容这两个电容为什么mismatch差不多大呢？

我意思是, 面积相同时, 周长更长的mom电容会更大. delft以前有个提3d电容的文件讲了周长对mom电容的影响.

typhoon222 · 发表于 2021-7-21 20:56:49

quantus 发表于 2021-7-21 15:24
我意思是, 面积相同时, 周长更长的mom电容会更大. delft以前有个提3d电容的文件讲了周长对mom电容的影响. ...

目前仿真出来的mismatch基本只跟电容值负相关，这样合理么？

quantus · 发表于 2021-7-21 22:06:53

typhoon222 发表于 2021-7-21 20:56
目前仿真出来的mismatch基本只跟电容值负相关，这样合理么？

电容越大mismatch越小，这个没有问题。你之前的问题是容值相同，几何形状不同，哪个mismatch小。

BJUTZZM · 发表于 2024-9-2 16:05:37

请问MOM电容使用的金属层数会对该电容造成什么影响？

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