Isolate different channel length device of different OD with at least wto dummy polys, why??

bigb24 · 发表于 2021-4-19 17:04:03

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在design rule上看到了这句话，想请教一下原因，谢谢各位。
捕获.JPG

CWBBest · 发表于 2021-4-19 19:24:31

楼主的疑惑是不是：既然是保证蚀刻速率一致，那么只要保证 poly 的边界相互之间的距离一样就行了，为什么还要对 dummy poly 边界之外的地方有要求呢？

bigb24 · 发表于 2021-4-19 19:34:00

CWBBest 发表于 2021-4-19 19:24
楼主的疑惑是不是：既然是保证蚀刻速率一致，那么只要保证 poly 的边界相互之间的距离一样就行了，为什么还 ...

我不明白加了这两个dummy poly，对电路有什么好处，或者说，加了这两个dummy poly会避免什么效应，我对工艺不是很熟悉，单纯从设计的角度想了解下，谢谢啦。

CWBBest · 发表于 2021-4-19 20:06:10

bigb24 发表于 2021-4-19 19:34
我不明白加了这两个dummy poly，对电路有什么好处，或者说，加了这两个dummy poly会避免什么效应，我对工 ...

加 dummy poly 原本是为了保证边界蚀刻速率相同，从而保证栅长的一致。但是这里我也不明白为什么要加两个。

paralinger · 发表于 2021-4-19 23:07:10

开车下坡加两个减速带，防止超速；加一个估计不够，要罚款~

Nudlex · 发表于 2021-4-20 11:46:44

请问这是什么资料，为了防止不同宽度的Poly所带来蚀刻速率的问题吧。

[求助] Isolate different channel length device of different OD with at least wto dummy polys, why??