中国必须建立EUV极紫外光刻联盟

sinowarrior · 发表于 2021-2-25 05:36:18

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

在等待smee 28nm duv认证的同时，我希望看到正在组建“中国EUV联盟”以刺激开发工作。现在，它完全由CAS和其他研究机构掌握。中国科学院院士。我认为还需要更多。 “中国EUV联盟”将由许多行业参与者组成，例如华为，中兴，中芯，百度，阿里巴巴，腾讯，格力，比亚迪，cetc，smee，小米，联想...等以及所有相关的研究学者和中国政府。建立了50亿美元的资金池。政府将提供一部分资金，并开始向行业参与者收取费用这将加快CAS EUV的开发。政府督导小组将监督开发工作。研究机构将需要大大扩展其人力和资源欢迎更多的学校和大学加入，该项目的较小任务可以委托给他们双-每周需要报告并通过电子邮件发送给所有成员。我不希望看到这是CAS资金不足的情况，而其他研究机构则将自己埋葬在紧密的发展环境中，并为进展缓慢而苦苦挣扎 DUV已经接近最终的行业认证阶段，它将继续进行，需要时间。焦急的等待对行业没有帮助。但是EUV的发展需要震动

两种类型的光刻中国必须具有DUV和EUV

EUV更具挑战性。主要研究员是中国科学院，哈尔滨工业大学和长春光学学院

中国首个极限紫外光刻原型机 2017
为还要等待? 快速联系并使其成为工业级产品 (上海微电子装备, 中国电子科技集团有限公
http://www.ioe.cas.cn/xwdt2019/zuixindongtai/201912/t20191228_5476914.html
http://www.ioe.cas.cn/szxx2/
http://video.cas.cn/masvod/public/2017/07/12/20170712_15d35993599_r29_200k.mp4

phoenixson · 发表于 2021-2-25 11:47:50

根基不扎实，成立什么联盟都是徒劳的，我们在基础物理，基础化学，材料物理等多个领域欠债太多了

sinowarrior · 发表于 2021-3-1 00:39:05

phoenixson 发表于 2021-2-25 11:47
根基不扎实，成立什么联盟都是徒劳的，我们在基础物理，基础化学，材料物理等多个领域欠债太多了 ...

https://euvlitho.com/2015/P21.pdf

fengjie0728 · 发表于 2021-3-6 14:04:55

谢谢分享

yghanwuji · 发表于 2021-3-10 16:12:10

基础学科还很落户

zz_3070 · 发表于 2021-8-9 18:56:16

hennana

[原创] 中国必须建立EUV极紫外光刻联盟

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

站长推荐 /2