40nm电容如何选择

sunxp

各位大佬，1.40nm工艺下的crtmom和cfmom各自的优缺点是什么，微波电路（大于30G）用哪种电容比较合适？
2.电容的金属层该怎么选，同样的电容选择不同的层都可以实现，这种时候该怎么选？
3.电容貌似只支持到30G，高于这个频率电容还有参考意义吗？
4.电路中会用到很小的电容（几个fF），电容尺寸会很小，这个时候该怎么设计？


哪个大神能帮我解惑下。。。

rayhardenne

没用过crtmom。
30GHz以上用cfmom是没问题的，前提是你的电容容值较小，远离自谐振频率，如果容值较大的话，PDK里的电容model就不准了，可以尝试自己用EM工具仿
几fF的电容尽量用稍大的电容串联来实现，减少工艺误差带来的影响

sunxp

回复 2# rayhardenne

谢谢回复！
我试过用几个大的电容串联，仿真结果差别比较大，这个也是我疑惑怎么选择电容的地方。

另外你说的用em工具来仿真，是指导出电容的gds来仿真？这个速度好像特别慢啊，仿真出来的s2p文件再放进仿真里面代替库电容，对比结果吗？

rayhardenne

回复 3# sunxp

为什么串联电容有影响？你要Check一下，可能是你计算的问题哦工作在毫米波的大电容，尤其是需要精确容值的电容，都是需要EM提取的，现在有很多EM工具，不一定非要用HFSS。

sunxp

回复 4# rayhardenne

我是这样计算的，比如我要5fF的电容，我可能会先找一个相对尺寸大一些的20fF电容，然后4个串联，但是仿真会有差别。
请问大神，你用的什么工具，我用momentum也会很长时间，另外想学习下你提取电容的方法。

Lucky_Johnny

请教一下，Crt是啥意思啊