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在DRC规则中，经常遇到宽金属间距检查的规则，如何快速阅读和理解这个规则的典型DRC Code呢？
A1_d描述： 如果Metal1的2个图形中有一个图形的宽度大于等于10微米（宽金属），则其距离不能小于0.5微米。同时，宽金属图形上的小凸起（bump）也被认为是宽金属图形，所谓小凸起的定义是：如果连接在宽金属上的图形的宽度小于等于1微米，就认为是附属于宽金属的小凸起。
其含义如下图所示：
这个规则的DRC Code书写如下：
A1_d {
A1_Wide = A1
With Width >= 10
A1_Exp = SIZE A1_Wide BY 1 INSIDE OF A1 STEP 0.126
A1_bump = A1_Exp NOT A1_Wide
A1_bump_edge = A1_bump COIN INSIDE EDGE A1
A1_Check = A1 AND (SIZE A1_Exp BY 0.5)
A1_Else = A1_Check NOT INTERACT A1_Exp
A1_Extend = A1_Check NOT A1_Exp
EXTA1_Wide A1_Else < 0.5 ABUT >0 <89.5 REGION
EXTA1_Bump_edge A1_Else < 0.5 ABUT >0 <89.5 OPPOSITE REGION
EXTA1_Bump_edge A1_Else < 0.5 ABUT >0 <89.5 CORNER REGION
EXTA1_Bump_edge A1_Else < 0.5 ABUT >0 <89.5 PROJ<=0 REGION
A = EXT A1_Exp < 0.5 ABUT > 0 < 89.5 SPACE REGION
ANOT INTERACT A1_Extend
}
乍一看，DRC Code比较复杂，layer定义比较多，似乎无从下手分析。
俗话说，“一图胜千字”，当你不理解文字含义时，通过图形的显示可以帮你快速理解每个语句的含义。
这条Rule有几个关键的要点，分别是：宽金属，窄金属，小凸起。我们构造如下的gds版图来分析其具体含义：
上图中，左边图形的宽度大于等于10um, 右边图形的宽度小于10um。
上图中，左边图形的宽度大于等于10um, 右边图形的宽度小于10um。
上图中，中间图形上小左右有4个小凸起，要分析其是否满足0.5微米的间距约束。
上图中，小凸起与左边图形是角对角关系，要分析其检查这种类型的错误。
上图中，小凸起到另外一个图形刚好投影是0，需要分析是否是检查这种类型的错误。
有了上述gds的图形后，我们就可以逐句分析DRC Code的含义了：
第一步：
A1_Wide = A1
With Width >= 10
在我们前面的Xcal工具介绍中，曾经提到过自动把每个中间步骤的结果打印显示，我们首先点击按钮A1_Wide这个layer：
工具会弹出：
可以看到，黄色高亮部分就是A1_Wide的图形，由图形我们猜测其含义是：把宽度大于等于10的图形输出（但是不包括小凸起）。
第二步：
A1_Exp = SIZE A1_Wide BY 1 INSIDE OF A1STEP 0.126
点击A1_Exp的layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是A1_exp的图形，由图形我们猜测其含义是：把宽度大于等于10的图形连同小凸起一起输出。
第三步：
A1_bump = A1_Exp NOT A1_Wide
点击A1_bump的layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是A1_bump的图形，由图形我们猜测其含义是：宽金属附属的小凸起图形。
第四步：
A1_bump_edge = A1_bump COIN INSIDE EDGE A1
点击A1_bump_edge的layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是A1_bump_edge的图形，由图形我们猜测其含义是：宽金属附属的小凸起图形的3条边（不包含与宽金属touch的第4条边）。
第五步：
A1_Check = A1 AND (SIZE A1_Exp BY 0.5)
点击A1_Check的layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是A1_Check的图形，由图形我们猜测其含义是：为了提高效率，把宽金属和其附近0.5微米的图形都找到，远处的图形和边不要参数后续的运算。
第6步：
A1_Else = A1_Check NOTINTERACT A1_Exp
点击A1_Else的layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是A1_Else的图形，由图形我们猜测其含义是：除了宽金属以外，距离宽金属在0.5微米范围之内的所有的图形和边。
第7步：
A1_Extend = A1_Check NOTA1_Exp
点击A1_Extend的layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是A1_Extend的图形，由图形我们猜测其含义是：窄金属被检查的边。
前面7步是准备工作，把需要检查的layer都准备好，后面就是5种检查了：
检查1：
EXT A1_Wide A1_Else <0.5 ABUT >0 <89.5 REGION
点击该layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是报错输出，由图形我们猜测其含义是：宽金属与窄金属的距离报错。
检查2：
EXT A1_Bump_edge A1_Else< 0.5 ABUT >0 <89.5 OPPOSITE REGION
点击该layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是报错输出，由图形我们猜测其含义是：小凸起与窄金属的距离报错，并且是正对图形有投影的报错。
检查3：
EXT A1_Bump_edge A1_Else< 0.5 ABUT >0 <89.5 CORNER REGION
点击该layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是报错输出，由图形我们猜测其含义是：小凸起与窄金属的距离报错，并且是角对角的报错。
检查4：
EXT A1_Bump_edge A1_Else< 0.5 ABUT >0 <89.5 PROJ<=0 REGION
点击该layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是报错输出，由图形我们猜测其含义是：小凸起与窄金属的距离报错，并且是投影长度为0的报错。
检查5：
A = EXT A1_Exp < 0.5ABUT > 0 < 89.5 SPACE REGION
A NOT INTERACT A1_Extend
点击该layer，工具会自动弹出该layer的图形输出。
可以看到，黄色高亮部分就是报错输出，由图形我们猜测其含义是：2个宽金属的距离报错。
至此，我们已经把这条DRC Rule的所有语句通过图形化的方式全部显示出来了，即使你对DRC Code的语法不是很熟，也可以通过图形的显示来猜出其具体含义了。
但是，观众立刻就会发出一个疑问：难道我为了理解这个DRC Code，还要手工画这么多图形，手工运行这么多次DRC检查，才能理解这些Code吗？这个代价也太大了，还不如我直接看文本语句呢。
是的，如果你没有其它辅助工具，确实需要画gds图形，确实需要运行多次DRC工具。不过，如果你使用scout工具 + xcal工具，则操作就异常简单了：通过scout工具自动生成前文中所有的版图图形，通过xcal自动运行得到所有的中间变量的结果。在此过程中，用户只需要点击几个按钮即可。
关于如何使用scout工具 + xcal工具来迅速分析DRC Code的具体操作方法和步骤，我们将在后续的文章中讨论。目前，用户可以申请短期的免费licene使用该工具。
也可以关注微信公众号： microscape8 每天可以看更新的内容介绍。
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发表于 2018-8-21 20:06:42
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