黄光制程对layout的影响

black小屁 · 发表于 2018-8-6 11:32:52

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求大神讲解黄光对layout的影响，怎么造成影响的，问题有点宽泛，但是一点点的回答也可能会是莫大的帮助

gxd12 · 发表于 2018-8-6 14:08:48

确实有点宽泛。。。很多设计规则是根据黄光的工艺需求来的，比如metal越宽，space要拉的越大，因为宽的metal在光刻的时候光酸产生的多扩散的多，LER（line edge roughness）也比较大，离得近了容易bridge；再比如关键器件的poly要竖着放，因为黄光为了追求高分辨率，poly用的diple的照明方式，这种照明会提高垂直方向的分辨率，但是会削弱水平方向的分辨率。。等等。。楼主可以多上网查查

black小屁 · 发表于 2018-8-16 17:15:42

回复 2# gxd12

哈哈你好牛啊，说的几点都很有价值，言简意赅，领会了，能不能再多说点

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