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发表于 2018-4-2 16:43:45
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HBM ESD只是一个时间只有200~1000ns左右的瞬时电流现象.
不是一个长时间DC电流现象. 你所谓metal 每微米过 1mA电流, 这是指DC时的EM spec, 也就是超过10年以上的以1mA/um的DC电流在同一条metal line上同方向流动, 才会造成断路或阻值的偏移一定之大小.
所以ESD的metal宽度要用current peak或current pulse的EM spec来算. 没有的话, 用AC spec算也会比DC小个20~40倍.
其实, 一般遵守foundry给的ESD layout guide就很足够了.
比方, 有的会建议PAD进去的metal至少要有15um. (或更小)
或规定PAD至最近的ESD clamping要小于1 ohm之类的.
考虑ESD clamping的宽度大小, power/ground宽度也很少小于20um的. |
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