怎么看design rule文档

110006

几百上千页的rule不可能全看的。 有几项是必看的：
1.  layer definition， 要了解用到的工艺层，每层的作用，各层的相对位置。能简单画出主要器件的的剖面图。     这里还要注意有些层需要手动加上，帮助识别特殊器件（譬如ESD）进行相应的DRC check。
还有的涉及到不同metal stack的组合, PAD 下是否能有active device等。。
2. 因为现在的工艺基本上有完善的PCELL，所以base layer的rule基本上可以跳过去。 主要看连接层的rule，     譬如metal 的最小宽度/最小间距……  
3.  reliability 相关的方阻/current density这些是需要人工保证的， 没有工具检查。
4. 器件部分主要了解各类器件的结构， 注意工艺中是否能同时使用几种器件，或者特殊器件需要额外的MASK……

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