求助关于MIM cap

lwj930609 · 发表于 2017-9-15 21:33:39

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在同一工艺下，mim cap的单位面积值是固定的吗？比如我现有的工艺是 2fF/um^2，如果我希望mim cap变为1fF/um^2，查了一下发现MIM cap上层的metal是最上层的，下层metal是最高层的metal，请问这两个典型值可以在同一工艺库下实现吗？不同的数值各自优劣是什么？谢谢~

nwpu_boy · 发表于 2017-9-21 20:59:26

最上？最高？一共几层METAL？能用M1 ，M2 。。。TME描述吗？

king0798 · 发表于 2017-9-22 08:47:54

是单位容值吧，工艺厂决定，工艺厂提供多大的就是多大的。
有些工艺会提供两个电容值，所以在同一工艺下可以实现两个电容值，工艺厂通过改变中间介质，调整容值。但是一个芯片只能选择一个电容值的mim。
我的经验，对于mim电容，两种容值的电容，特性上是差不多的。

巧克力的冬天 · 发表于 2017-9-22 09:08:56

工艺厂提供两种容值的电容的选择，但是同一个芯片中只能选择一种容值的电容，这个在装PDK的时候就会有提示

cxl666 · 发表于 2017-9-22 09:39:18

不能，不同容值精度要求不同。具体看model

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