Atomic Layer Deposition for Semiconductors

Capricorn0115 · 发表于 2016-10-18 00:37:09

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Author:Cheol Seong Hwang

Date:

2013-11-30

Description:
Offering thorough coverage of atomic layer deposition (ALD), this book moves from basic chemistry of ALD and modeling of processes to examine ALD in memory, logic devices and machines. Reviews history, operating principles and ALD processes for each device.

andrewleelive · 发表于 2016-11-30 14:49:58

very good!

felicris · 发表于 2019-4-20 13:57:56

Good Luck

shuua_zhou · 发表于 2023-2-5 14:53:43

好资料

sutaotao2001 · 发表于 2023-2-6 02:45:44

?????

caterpillarlzh · 发表于 2023-10-20 20:43:33

henhao

ebookuser2 · 发表于 2023-12-17 15:19:22

Very good!

binnq · 发表于 2024-5-14 17:55:14

感谢

leon_strive · 发表于 2025-1-9 12:09:14

谢谢分享

NingLiu · 发表于 2025-6-11 16:21:32

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