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[求助] 报给封装厂的pad size是指哪个?

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发表于 2016-7-7 15:10:28 | 显示全部楼层 |阅读模式

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是pad 金属块的尺寸还是pad open(钝化层开口)的尺寸?PDK中调了一个75x75的pad,测量金属块确实75x75,但是pad open只有70x70.
这两个数据以哪个为准呢?
发表于 2016-7-8 15:34:58 | 显示全部楼层
应该是opening size:70X70
这个开窗与两层metal之间的via类似,metal画到75X75,即在opening周围metal会extention 2.5um左右,就像我们画via的时候metal不会四边都刚好与via切齐,原因一是载流子的横向运动,二是保证via与metal充分的接触。
个人观点!~~
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