报给封装厂的pad size是指哪个？

nkzz · 发表于 2016-7-7 15:10:28

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是pad 金属块的尺寸还是pad open（钝化层开口）的尺寸？PDK中调了一个75x75的pad，测量金属块确实75x75，但是pad open只有70x70.
这两个数据以哪个为准呢？

Snowy2016 · 发表于 2016-7-8 15:34:58

应该是opening size：70X70
这个开窗与两层metal之间的via类似，metal画到75X75，即在opening周围metal会extention 2.5um左右，就像我们画via的时候metal不会四边都刚好与via切齐，原因一是载流子的横向运动，二是保证via与metal充分的接触。
个人观点！~~

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