TSMC metal scheme问题

lmgrd · 发表于 2015-9-14 20:15:24

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x

各位好，

TSMC工艺
请教 metal scheme: 1p5m_?x?z 其中x z代表什么？在那个文档上边可以查出呢？
感谢指点

okfunny · 发表于 2015-9-15 22:43:18

回复 1# lmgrd

x y z r u 表示不同的厚度，不同的厚度对应不同的min pitch以M1 为基准
x 1x
y 2x
z 8x
r 10x ?
u 12x ?
具体的多少倍记不清了，在design rule 里面有的

lmgrd · 发表于 2015-9-23 15:11:21

回复 2# okfunny

感谢

fuyibin · 发表于 2015-9-23 15:29:00

回复 okfunny

感谢
lmgrd 发表于 2015-9-23 15:11

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z是4x

icfbicfb · 发表于 2015-9-23 17:37:45

看具体的design rule， x/y/z 厚度都不一样的，4楼的是65nm的

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