momentum如何设置VIA

lawrence312

各位，神人。我现在在用momentum设计transformer。在momentum里边定义sub时，遇到两个问题
1、金属层之间要定义via，这个via需要定义电导率。工艺库的文件里边对VIA的参数定义我看不懂，请大家帮我看看

PDK的数据如下
    Film        Valid Width    Rsh Mean/Range      Unit
RC_VIA1    W/S=0.26/0.26         6.4(<20)                  Ω/ct


请问
1、W/S是什么意思？
2、6.4后边的（<20）是什么意思？
3、 Ω/ct中ct是什么意思？
4、通过这些参数我能知道VIA1的电导率么？如果能，该怎么算；如果不能还需要知道什么，怎么算？




2、工艺里边似乎说金属是有一点浸入到介质层的。在momentum中，虽然可以随金属设置“intrude into substrate”，但是似乎没发设置浸入的深入。
    请问，我该如何设置金属呢，设置为sheet，intrude into substrate，还是expand into substrate