环境光传感器
Apple Watch 中使用的环境光传感器是来自于AMS的产品TSL2590,封装尺寸为2.15mmx1.30mmx0.42mm。芯片使用了3层铝布线制程,数字区域测量到的最小线宽为0.35um。
Ambient Light Sensor Package Photo
为了能够看到更多MEMS芯片的信息,我们使用红外显微镜(IR)拍摄了这颗MEMS芯片的平面图片,并且对芯片进行了纵向分析。通过IR图片,我们可以看出,这款惯性组合产品的MEMS芯片将3轴加速度计与3轴陀螺仪集成在同一颗芯片上,这种布局与ST官方发布的iNEMO Inertial Module如出一辙。加之2013年ST新推出Always-On 6轴惯性传感器组合产品系列,并在2014年进行量产,其中具有代表性的是LSM6D系列。据称这个产品系列中高能效MEMS传感器的功耗小于2mA,并且都采用了相对较小的封装,种种迹象都表明这系列的产品非常有可能是为了可穿戴设备推出的。Apple Watch中的这款6轴惯性组合传感器产品,是否出自这个系列的产品呢?
ST 6-axis IMU MEMS IR Die Photo
通过SEM纵向图片,我们可以观察到惯性传感器芯片的盖子及衬底的厚度,以及可动结构层的主要厚度。ST使用THELMA表面硅工艺制造惯性传感器,并且使用传统的含铅的玻璃熔封将盖子与MEMS的主要芯片进行密封连接。
ST 6-axis IMU MEMS SEM General Structure