对于相同65纳米不同foundry的一些问题

maoweijun187 · 发表于 2015-1-3 23:17:51

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我想请教一下，比如smic和global的65纳米工艺，就金属材质来说，两种工艺的me5、me6的电导率会差很多吗？大概是一个怎样的范围？

fuyibin · 发表于 2015-1-4 09:34:20

本帖最后由 fuyibin 于 2015-1-4 09:35 编辑

自己查一下这两个工艺的design rule或者pcm，这种查文档问题尽量要靠自己来解决
如果真的发现两者有很大出入，再拿出讨论才是一个topic

maoweijun187 · 发表于 2015-1-4 18:43:28

回复 2# fuyibin

就是因为找不到才问的，只有global木有smic的

tunable_ads · 发表于 2015-1-5 07:43:57

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fuyibin · 发表于 2015-1-5 09:35:53

回复 fuyibin

就是因为找不到才问的，只有global木有smic的
maoweijun187 发表于 2015-1-4 18:43

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不知道你手头有什么，
如果有smic 65nm design rule，那里面会写
如果有PDK，可以把metal 电阻拿出来，上面明明白白的写了方块电阻
如果什么都没有，那只能给你一个大概参考值，薄metal在0.15~0.2ohm/sq，top metal大概0.02ohm/sq
建议先搞清工艺的metal scheme，不要简单比较m6，因为有可能是1p6m，也有可能是1p9m，那样毫无意义

maoweijun187 · 发表于 2015-1-6 09:58:35

回复 5# fuyibin

嗯嗯，谢谢指教！

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