工艺厂为什么要在版图上加很多dummy？

liuweihuipan · 发表于 2014-11-25 16:47:49

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工艺厂会在顶层金属密度不够的地方自动加上金属dummy，这样做有什么好处？

gaozhiqiang · 发表于 2014-11-25 22:46:05

为了工艺线的平稳度，误差最小

temp15555 · 发表于 2014-12-29 12:42:23

solve cmp dishing issue.
improve the metal uniformity

william_kuang · 发表于 2014-12-29 12:51:44

为了防止刻蚀时出现刻蚀不足或刻蚀过度。
比如metal　density 不足就需要增加一些metal dummy layer以增加metal密度。
另外一些则是考虑到光的反射与衍射，关键图形四周情况大致相当，避免因曝光而影响到关键图形的尺寸。

fengzhishang123 · 发表于 2015-1-6 13:47:16

这个可以顶

newone · 发表于 2015-1-17 17:23:20

原因之一：使得CMP能磨平

神般存在 · 发表于 2015-2-9 21:03:44

与CMP和metal etch的loading effect相关

hezeren · 发表于 2015-9-25 22:24:22

挺好的资料

棍棍儿 · 发表于 2017-3-10 16:10:59

顶~~~

dagger1988 · 发表于 2017-3-13 10:37:41

应该和光刻和CMP都有关

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