齐纳二极管击穿电压问题

learnbydo

大家好，有一个二极管击穿电压的问题请教一下，有经验的大侠多指点，先行谢过了！

电路结构如下图，P+N+是一个非理想效应形成的二极管结构，按foundry评价，认为可能发生齐纳击穿，形成VDD到GND的漏电通路，这是不希望发生的。



file:///C:/Users/YULB/AppData/Local/Temp/enhtmlclip/Image.png
查了些资料，一般认为击穿电压由P+N+的掺杂浓度决定。我的问题是：
1. 从N, P浓度如何推算击穿电压？有无经验公式？
2. 对击穿电压，设计的推算一般和实测的符合度有多高？
3. 能否有一些不同N+, P+浓度组合下的击穿电压的参考数据？ 或一般工艺的齐纳管，参数是多少？

芯片目前因为该问题不能投出去，请有经验的大侠解惑，多谢了！

math123

击穿电压6V以下是齐纳击穿，6V以上是雪崩击穿。击穿电压和二极管的掺杂，结深，曲率半径有关。是什么工艺啊，能贴下器件结构吗？

learnbydo

回复 2# math123

多谢指教！这是一个sram cell的局部电学等效图 , 0.13 um工艺：中间的N是Nwell, 右侧的N+是Tap；左侧的P+是一个PMOS的漏端；蓝色的N+是因为P+和tap间有poly线横跨，工艺偏差误引入的，正常不会有。我们希望寄生引入的zener diode的击穿电压高于工作电压(2V)。 物理结构示意图如下：


我对工艺了解较少，兄台是否知道一些典型zener管的物理参数，如掺杂等，和一般工艺P+N+的浓度？有什么方法判断下风险大小？