有源区的作用

anlei111 · 发表于 2014-5-24 10:40:11

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请教有源区AA的作用，不是怎么很明白？AA与SN,SP之间的关系。

yijianhanmei23 · 发表于 2014-5-25 16:56:45

AA: Active Area
SP: Selected P-Implant
SN: Selected N-Implant

AA is the area where the field oxide would not be grown~
AA+SP is the Source/Drain of a PMOS while AA+SN of a NMOS~

terry8876 · 发表于 2014-5-25 17:53:49

关于AA与SP、SN关系，简单一点说就是AA是来定义SP、SN区域的。AA与SN或SP区域的交集部分才是真正进行P+、N+注入的地方。
因为工艺注入上肯定会有误差，所以一般都要求SN、SP注入要超过AA多少um（看工艺而定了）。

nathan_ruan · 发表于 2014-6-15 19:02:26

AA Active area；它的另外一种叫法更直白：TO 即 thin oxide；TO 是相对 STI/ fox 而言的
SN SP 是 implant 能量较低穿不过 fox

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